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WaferEye

개요
반도체 웨이퍼 클리닝 공정감시를 위한 AI 기반 차세대 비전 기술
주요기능
웨이퍼 유무/위치/파손/색상/무빙 노즐위치 검사
웨이퍼 무빙 노즐 토출 유무/물방울 맺힘/고정 노즐 토출 위치 및 유무 검사
카세트내 웨이퍼 상태/ 챔버 수증기검사
적용분야
반도체 웨이퍼 클리닝 공정
레퍼런스
◎ SK 하이닉스 (반도체 웨이퍼 공정감시 솔루션) 납품예정
◎ SK 하이닉스 (반도체 웨이퍼 컬러감시 솔루션) 납품예정
특장점
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